場發射型掃描式電子顯微鏡

掃描式電子顯微鏡其成像原理是利用一束具有5～30 kV之電子束掃描試片的表面，接收表面產生之訊號(包括二次電子、背向反射電子、吸收電子、X射線等)以顯現試片圖形之影像，其長景深對於物體表面之三度空間微細結構提供了真實及方便的觀察。 於SEM上，附加一組能量分散分析儀(EDS)，更可依物體表面在電子撞擊後所釋出之Ｘ射線而分析樣品中化學成份種類與含量。

儀器設備說明

• 機型：JEOL JSM-6700F
• 加速電壓：0.5~30 kV
• 解析度：1.0 nm (15 kV)、2.2 nm (1 kV)
• 放大倍率：x25 ~x650,000
• 試片座移動範圍：
  X-direction: 0~70 mm
  Y-direction: 0~50 mm
  Z-direction: 1.5~25 mm
  Tilt: -5 ~ 60
  Rotation: 360 endless
• Specimen Holders：
  12.5 (dia.)×10 (H) mm specimen
  26 (dia.)×10 (H) mm specimen

服務項目

• SEI(Scanning Electron Image)
• BEI(Backscattering Electron Image)
• EDS(Energy Dispersive Spectrometer)：EDS定性、定量分析、點分析、線掃描
  目前本中心提供兩種不同直徑的試片底座，試片請自行做前處理的動作，取樣直徑最大不超過25mm、最大高度10mm。請依照規範製作，勿超出規定範圍。
• 12.5（ dia .）×10（H）mm specimen
• 26（ dia .）×10（H）mm specimen

本中心提供可導電的碳膠帶與銅膠帶，以供固定試片。另提供空白光碟片，儲存實驗資料，光碟片費用另計。

注意事項

1.   試片不得為含有毒性、腐蝕性、揮發性、磁性、水分及低熔點等粉末材料及有機高分子材料。

2.   試片若是為非導電性材料（如非金屬、陶瓷…等材料），本中心提供濺鍍服務，費用另計。

3.   若因人為操作不當，導致機台故障，累計2次以上，立即取消該預約者認證資格，並暫停該預約者1個月預約權。經1個月後，需再次認證，經認證通過才給發操作執照。

4.   若因人為操作不當，導致機台嚴重故障或是損毀，立即取消該預約者認證資格，並暫停該預約者半年預約權。經半年後，需再次認證，經認證通過才給發操作執照。

5.   經認證許可資格者，在無事先預約實驗時段情況下，自行操作機台，經發現其行為累計2次以上者，立即取消該預約者認證資格。並暫停該預約者1個月預約權，經1個月後，需再次認證，經認證通過才給發操作執照。

6.   經認證許可資格者，在無事先預約實驗時段情況下，自行操作機台，並導致機台故障，經發現其行為者，立即取消該預約者認證資格，並暫停該預約者半年預約權。經半年後，需再次認證，經認證通過才給發操作執照。

7.   經認證許可資格者，在無事先預約實驗時段情況下，自行操作機台，並導致機台嚴重故障或是損毀，經發現其行為者，立即取消該預約者認證資格，並不得再考取認證資格。

8.   在無認證資格情況下，任意操作機台者，經發現其行為者，立即取消該預約者預約權半年。

9.   若試片未做前處理、前處理不當或是其他情況下，試片會污染本機台真空時，本中心無法提供服務。

10. 因實驗需要，需更改機台的工作距離、試片座旋轉扭…等機台參數，需事先告知研究助理，經許可後，才可更改之。若在無許可情況下，自行任意更改機台參數，經發現後，累計2次以上，取消認證資格。

11. 若在無許可情況下，自行任意更改機台的工作距離、試片座旋轉扭…等參數，導致機台故障或是損毀，經發現後，取消認證資格，並暫停該預約者半年預約權。經半年後，需再次認證，經認證通過才給發操作執照。

• 試片請自行前處理及固定，取樣直徑最大不超過25 mm，最大高度10 mm。
• 試片若為非金屬，本中心提供濺鍍(Pt)服務。
   

收費標準

（儀器操作時間未滿一小時者，以一小時計費）

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