多功能半導體快速量測系統

本量測系統適用於半導體電子材料、奈米元件之電性量測 (I-V、 C-V)，並且附加溫控系統做溫度調變， 並搭載了快速量測裝置模組，可設定以10ns解析度之任意波形掃描同步執行快速交流量測， 可運用高速波形分析更暫態的電子特性，並分析電子元件之可靠度和電性機制。及提供最多5端點元件之量測。並可由Agilent B1500A半導體參數分析儀及Agilent B1530A(WGFMU)量測在不同溫度下作元件特性的量測和可靠度研究。整個系統利用Agilent Desktop EasyExpert 量測軟體進行自動控制，提供方便且迅速的量測功能。

 

服務項目

1.精準電性量測：提供高解析度I-V量測、C-V量測、C-F量測及可靠度測試

規格：

HRSMU(High Resolution SMU) × 5

         Resolution：1fA/25μV to 100mA/100V

HPSMU(High Power SMU) × 1

Resolution：10fA/2μV to 1A/200V

PGU(Pulse Generator Unit) × 2

         Amplitude：40Vp-p

Pulse width：500μs to 2s (100μs res.)

Pulse period：5ms to 5s (100μs res.)

Transition time：8ns to 400ms (2ns to 8ns res.)

註：Source Monitor Unit(SMU)

MFCMU(Multi-Frequency capacitance measurement unit)

Frequency

Range：1kHz to 5MHz

Resolution：1mHz

Amplitude：100 V DC bias with SMU and SCUU (SMU CMU Unify Unit)

Output signal level：

Range：10mV to 250mV

Resolution：1mV

WGFMU(Waveform generator/fast measurement unit) × 2

Resolution：10ns

Amplitude：100 V DC bias with SMU and SCUU (SMU CMU Unify Unit)

2.可靠度分析： DC stress   AC stress

3.變溫量測： 25℃ ~ 200℃

收費標準

儀器使用每小時收費3,000-4,000元整。

	*委託操作每小時費用
1. 中山大學	3000
2.其他學校	3000
3. 非營利機構/學術研究單位	4000
4. 產業界(營利機構)	4000

試片準備

Sample大小須在12吋以內

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