奈米壓痕系統

(MTS Nano-Indenter)

功能說明

Nano indenterXP 具有獨家CSM量測系統，可精確的量測材料硬度值、彈性係數等，

有高解析度定位平台與程式化路徑設定功能，因此可量測到基材上面的沉積薄膜性質。

儀器設備說明

• 設備名稱：奈米壓痕量測系統
• 原廠：Keysight Technologies
• 代理商：汎達科技

1. 系統規格：
2. 壓痕器位移 解析度：0.1 nm
3. 壓痕器總行 進距離：2 mm
4. 壓痕深度範圍：25 nm~500 mm
5. 最大出力：3 0.5N
6. 力解析度：＜500 nN
7. 壓痕器與 薄膜接觸力 (contact force)：1 mN
8. 負載構造剛性 (load frame stiffness)：5×106 N/m

• 負載機制為線性系統：

1. 可用平台面積：75 m m×100 mm
2. 平台移動距離：X, Y 3100 mm
3. 平台定位精度：X, Y 1.5 mm
4. 試片規格: 5×5 mm ² ~ 10×10 mm²
5. 系統背景噪音：小於50 db

服務項目

• 量測材料之硬度與楊氏系數
• 目前本中心提供兩種不同高度的試片底座，試片請自行做前處理的動作，取樣直徑5×5 mm ² ~ 10×10 mm²。請依照規範製作，勿超出規定範圍。
• 本中心提供快速黏著劑，以供固定試片。另提供空白光碟片，儲存實驗資料，光碟片費用另計。

注意事項

1. 試片表面須乾淨,表面粗糙度小於10nm,表面太過粗糙,無法進行量測。
2. 膜厚須 大於1000A ,膜越厚所量得之硬度與楊氏系數越準確。
3. 薄膜須有良好之附著力,不能太輕易剝落,否則會弄髒(損壞)壓痕頭。
4. 送測試片請直接與製程簽核人連絡。

收費標準 

儀器操作時間未滿一小時者，以一小時計費

聯絡方式